Phasics利用其四波横向剪切干涉技术，在紫外波前测量提供了较好的解决方案。它有非常高空间分辨率（250x250测量点）和在190-400nm范围具有高灵敏度（0.5 nm RMS）。因此，SID4-UVHR是完全适用于光学元件的特性（用于光刻技术、半导体…）和表面检查（透镜和晶片…）。由于它小巧，易于使用，能有效地适应各种实验条件。

SID4-UVHR 光学器件测量自适应光学

特点：

由于其独特的**技术技术，Phasics的SID4-UVHR波前传感器具备以下特点：

1.超高分辨率：250x250测量点

2.高灵敏度：0.5nm

3.通光孔径大：8*8mm

4.直接测量：光学元件和表面质量

应用：

SID4-UVHR紫外波前传感器提供应用：

紫外激光器：光束测试与校正

光学测量：UV光学测试（半导体…）和表面测量

SID4-UVHR产品参数：