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高重频DPSS二极管泵浦皮秒激光器COMPILER HPRR
COMPILER HPRR皮秒激光器提供uJ级单脉冲能量,重复频率可达10kHz,是COMPLILER系列新款激光器。此款激光器具有广泛应用,尤其是晶圆切割、微纳米加工、半导体划线、遥感等。
产品特性:
? 8皮秒脉冲宽度, ? 65μJ @1064 nm,15μJ@355 nm,10μJ @266nm ? 脉冲重复频率14kHz, ? TEM00模式 ? 风冷 ? 可定制升级到100μJ/1064NM/20 kHz
典型应用:
? 微加工(晶片、太阳能电池板、玻璃和金属等微米级加工) ? 光掩膜制备和修复 ? 紫外和时间分辨谱,单双光子激光诱导荧光LIF ? 测距和遥感 ? 激光消融、分裂和破坏 ? 生物医学研究
高重频DPSS二极管泵浦皮秒激光器COMPILER HPRR参数配置*
波长 | 1064 nm | 532 nm | 355 nm (optional) | 266 nm (optional) |
脉冲能量 (at 14 kHz) | 65 μJ | 35 μJ | 15 μJ | 10 μJ |
脉冲宽度 (at 1064 nm) | 8 ps | 7 ps | 6 ps | 5 ps |
重复频率 | 14 kHz, 固定重复频率,不可调 | |||
Q-switch | Passive | |||
光束质量 | 衍射极限 | |||
光斑模式 | TEMoo 近高斯 | |||
脉冲标准偏差 | 3% @1064 nm | |||
指向稳定性(std dev, 1 hour) | ~0.5 衍射极限 | |||
外部控制 | TTL 触发输入端口连接(4 +/-1V, 1 kΩ) | |||
电源 | ~ 100-240VAC, 47-63 Hz, single phase | |||
功耗 | <300 W | |||
预热 | Less than 5 minutes | |||
工作温度湿度 | 18-25 oC; 10-85 % |
* 更高功率可选
装箱清单: 激光头、泵浦源、光纤器件、信号线、电源线、手册及控制软CD
上面是一张50um直径激光孔(前板和后板两侧)的照片,10秒内(266nm,5ps,10uJ,12kHz)在300um厚的铝板上钻孔
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